Applied result detail
Optický profilometr využívající interferometrii s řízenou změnou fáze
KŘUPKA, I.; HARTL, M.
Original Title
Optický profilometr využívající interferometrii s řízenou změnou fáze
English Title
Optical interferometer based on phase shift interferometry
Type
Functioning sample
Abstract
3D optických profilometrem využívajícím interferometrii s řízenou změnou fáze, metodu používanou v komerčně dostupných profilometrech. V tomto případě se jedná o profilometr vlastní konstrukce, což umožňuje stanovit topografii třecího povrchu in situ, tj. přímo v experimentálním zařízení bez nutnost vyjímání měřeného vzorku.
Abstract in English
3D optical profilometer using phase shift interferometry, a method used in commercially available profilometers. In this case, it is a self - made profilometer, which enables us to evaluate the contact surface topography in situ, i.e. directly in the experimental device without replacing the measured specimen.
Keywords
surface roughness; phase shift interferometry
Key words in English
surface roughness; phase shift interferometry
Location
FSI VUT v Brně, Ústav konstruování, A2/423
Licence fee
In order to use the result by another entity, it is always necessary to acquire a license
www