Detail publikačního výsledku
Depozice amorfního křemíku
SALYK, O., PORUBA, A.
Original Title
Depozice amorfního křemíku
English Title
Deposition of Amorphous silicon
Type
Paper in proceedings (conference paper)
Original Abstract
Tutoriální přehled o technologiích depozice amorfního křemíku, obsahujících metody depozice z plynné fáze ve vysokofrekvenčním a mikrovlnném výboji v režimu elektronové cyklotronové rezonance, naprašování a napařování pomocí elektronového svazku.
English abstract
Tutorial overview of deposition techniques of amorphous silicon icluded chemical vapor deposition in rf and microwave discharge in electron cyclotron resonance regime, sputtering and electron beam evaporation.
Key words in English
deposition, amorphous silicon
Authors
SALYK, O., PORUBA, A.
Released
01.01.1999
Publisher
V. Dubravcová, P. Řepa, Slovakia,1999
Location
Bratislava
ISBN
80-227-119
Book
Škola vákuovej techniky 1999
Pages from
75
Pages to
83
Pages count
8
Full text in the Digital Library
BibTex
@inproceedings{BUT695,
author="Ota {Salyk} and Aleš {Poruba}",
title="Depozice amorfního křemíku",
booktitle="Škola vákuovej techniky 1999",
year="1999",
pages="75--83",
publisher="V. Dubravcová, P. Řepa, Slovakia,1999",
address="Bratislava",
isbn="80-227-119"
}