Applied result detail
Termální disociační zdroj atomů vodíku.
MACH, J.; ŠIKOLA, T.
Original Title
Termální disociační zdroj atomů vodíku.
English Title
Hydrogen Atom Beam Source.
Type
Functioning sample
Abstract
Přístroj vytváří užitím vysokoteplotní disociace (2000 K) svazek atomů vodíku o termální energii (0.1 - 1 eV). Tento svazek má mnoho různých aplikací, jako například: nízkoteplotní čištění a modifikace povrchů a tenkých vrstev, molekulární svazkové epitaxe s asistencí atomárního vodíku.
Abstract in English
The source generates hydrogen atomic beam with thermal energy (0.1 - 1 eV) by thermal dissociation (at 2000 K). The source is used for UHV applications: low-temperature cleaning and modification of surfaces and thin films, and hydrogen assisted molecular beam epitaxy.
Keywords
Atomic hydrogen; thermal atom source of hydrogen; atom source; hydrogen; dissociation
Key words in English
Atomic hydrogen; thermal atom source of hydrogen; atom source; hydrogen; dissociation
Location
A2/518
Licence fee
Use of the result by another entity is possible without acquiring a license (the result is not licensed)
www