Applied result detail
Termální desorpční spektroskopie (TDS)
POTOČEK, M.; BÁBOR, P.; ŠIKOLA, T.
Original Title
Termální desorpční spektroskopie (TDS)
English Title
Thermal desorption spectroscopy (TDS)
Type
Functioning sample
Abstract
Detekce atomů a molekul uvolňovaných z řízeně ohřívaného povrchu vzorku. Metoda je realizována v UHV komoře a konstrukce zařízení umožňuje omezení nežádoucího vlivu zahřívaných součástí držáku vzorku. Proudový ohřev vzorku je řízen programem, který také umožňuje snadnou automatizaci procesu čištění vzorku metodou flešování.
Abstract in English
Detection of atoms and molecules removed from a sample surface by controlled heating. Method is realized in UHV chamber and its construction allows restriction of the undesirable influence heated parts of the sample holder. The heating of the sample is driven by program which also allows easy automation of the sample cleaning by flashing method.
Keywords
thermal desorption; TDS; in situ analysis; thin films
Key words in English
thermal desorption; TDS; in situ analysis; thin films
Location
A2/518
Licence fee
Use of the result by another entity is possible without acquiring a license (the result is not licensed)
www