Applied result detail
Automatizace řízení procesu PE-CVD v plazmochemickém reaktoru.
PŘIKRYL, R.
Original Title
Automatizace řízení procesu PE-CVD v plazmochemickém reaktoru.
English Title
Process Controll Automation of PE-CVD process at plasmochemical system.
Type
Functioning sample
Abstract
Systém řízení a automatizace procesu plazmové polymerace metodou PE-CVD. Sestává se z komponent pro řízení zvolených periferií a jejich implementace do uživatelského rozhraní řídícího programu.
Abstract in English
Process Controll Automation of plasma polymerization (PE-CVD) consits of controlled components and user software interface of main controller.
Keywords
Automation, process controll, plasma, PE-CVD
Key words in English
Automation, process controll, plasma, PE-CVD
Location
FCH VUT, Purkyňova 464/118, Brno, lab. 0001
Licence fee
In order to use the result by another entity, it is always necessary to acquire a license