Detail publikačního výsledku

Depozice amorfního křemíku

SALYK, O., PORUBA, A.

Originální název

Depozice amorfního křemíku

Anglický název

Deposition of Amorphous silicon

Druh

Stať ve sborníku v databázi WoS či Scopus

Originální abstrakt

Tutoriální přehled o technologiích depozice amorfního křemíku, obsahujících metody depozice z plynné fáze ve vysokofrekvenčním a mikrovlnném výboji v režimu elektronové cyklotronové rezonance, naprašování a napařování pomocí elektronového svazku.

Anglický abstrakt

Tutorial overview of deposition techniques of amorphous silicon icluded chemical vapor deposition in rf and microwave discharge in electron cyclotron resonance regime, sputtering and electron beam evaporation.

Klíčová slova v angličtině

deposition, amorphous silicon

Autoři

SALYK, O., PORUBA, A.

Vydáno

01.01.1999

Nakladatel

V. Dubravcová, P. Řepa, Slovakia,1999

Místo

Bratislava

ISBN

80-227-119

Kniha

Škola vákuovej techniky 1999

Strany od

75

Strany do

83

Strany počet

8

Plný text v Digitální knihovně

http://hdl.handle.net/

BibTex

@inproceedings{BUT695,
  author="Ota {Salyk} and Aleš {Poruba}",
  title="Depozice amorfního křemíku",
  booktitle="Škola vákuovej techniky 1999",
  year="1999",
  pages="75--83",
  publisher="V. Dubravcová, P. Řepa, Slovakia,1999",
  address="Bratislava",
  isbn="80-227-119"
}