Detail aplikovaného výsledku

Automatizace řízení procesu PE-CVD v plazmochemickém reaktoru.

PŘIKRYL, R.

Originální název

Automatizace řízení procesu PE-CVD v plazmochemickém reaktoru.

Anglický název

Process Controll Automation of PE-CVD process at plasmochemical system.

Druh

Funkční vzorek

Abstrakt

Systém řízení a automatizace procesu plazmové polymerace metodou PE-CVD. Sestává se z komponent pro řízení zvolených periferií a jejich implementace do uživatelského rozhraní řídícího programu.

Abstrakt aglicky

Process Controll Automation of plasma polymerization (PE-CVD) consits of controlled components and user software interface of main controller.

Klíčová slova

Automation, process controll, plasma, PE-CVD

Klíčová slova anglicky

Automation, process controll, plasma, PE-CVD

Umístění

FCH VUT, Purkyňova 464/118, Brno, lab. 0001

Licenční poplatek

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence