Detail předmětu

Příprava a vlastnosti tenkých vrstev materiálů

FCH-DCO_PTVAk. rok: 2019/2020

Struktura přednášky zahrnuje definici základních pojmů, základy techniky vakua, úvod do plazmochemie, technologie přípravy vrstev - napařování, rozprašování, plazmová polymerace, hmotnostní spektrometrie, využití laserů pro depozice tenkých vrstev, depozice z plynné fáze, charakterizace tenkých vrstev - růst vrstev, tloušťka tenké vrstvy, techniky sondové mikroskopie (STM, AFM, EFM, MFM, SNOM), mechanické vlastnosti (měřící techniky, pnutí, adheze), spektroskopické elipsometrie a analytické metody (XPS, RBS, ERDA, FTIR).

Výsledky učení předmětu

Studenti získají znalosti z problematiky tenkých vrstev nezbytné pro řešení jejich disertační práce.

Prerekvizity

Základy fyziky a chemie.

Doporučená nebo povinná literatura

M. Ohring, Materials Science of Thin Films, Academic Press 2002. (CS)
D. Hoffman, B. Singh, J.H. Thomas, Handbook of Vacuum Science and Technology, Academic Press 1998. (CS)
V. L. Mironov, Fundamentals of Scanning Probe Microscopy, NT-MDT 2004. (CS)
H. Bubert, H. Jenett, Surface and Thin Film Analysis, Wiley-VCH, 2002 (CS)

Plánované vzdělávací činnosti a výukové metody

Výuka předmětu je realizována formou: individuální konzultace. Vyučujícím a studentům je k dispozici e-learningový systém (LMS Moodle).

Způsob a kritéria hodnocení

Písemný test a ústní zkouška.

Jazyk výuky

čeština

Osnovy výuky

Úvod / Informační zdroje
Základy techniky vakua
Úvod do fyziky a chemie plazmatu
Fyzikální metody pro přípravu tenkých vrstev
Chemické metody pro přípravu tenkých vrstev
Plazmochemická depozice z plynné fáze
Hmotnostní spektrometrie
Růst tenké vrstvy
Měření tloušťky tenkých vrstev
Rastrovací sondová mikroskopie
Mechanické vlastnosti tenkých vrstev
Spektroskopická elipsometrie
Rentgenová fotoelektronová spektroskopie (XPS)
Metoda Rutherfordova zpětného odrazu (RBS)
Metoda zpětného odrazu (ERDA)
Infračervená spektroskopie (FTIR)
Případová studie

Cíl

Cílem kurzu je seznámit studenty s pokročilými technologiemi přípravy a analýzy tenkých vrstev.

Vymezení kontrolované výuky a způsob jejího provádění a formy nahrazování zameškané výuky

Přednášky jsou nepovinné.

Zařazení předmětu ve studijních plánech

  • Program AKREDITACE doktorský, 1. ročník, zimní semestr, 0 kreditů, povinně volitelný

  • Program DKCP_CHM_4 doktorský

    obor DKCO_CHM_4 , 1. ročník, zimní semestr, 0 kreditů, povinně volitelný

  • Program DPCP_CHM_4 doktorský

    obor DPCO_CHM_4 , 1. ročník, zimní semestr, 0 kreditů, povinně volitelný

  • Program DKAP_CHM_4 doktorský

    obor DKAO_CHM_4 , 1. ročník, zimní semestr, 0 kreditů, povinně volitelný

  • Program DPAP_CHM_4 doktorský

    obor DPAO_CHM_4 , 1. ročník, zimní semestr, 0 kreditů, povinně volitelný

Typ (způsob) výuky

 

Přednáška

26 hod., nepovinná

Vyučující / Lektor